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智能勻膠機

更新時間:2019-08-30點擊次數(shù):925

智能勻膠機 型號:SC-100

SC-100智能勻膠機主要于半導體硅片、晶片、ITO導電玻璃、光學玻璃等工藝制版及表面涂覆,各種光刻膠表面膜制備。  
系統(tǒng)配置高速變頻馬達,變頻控制涂膠轉(zhuǎn)速、時間,使整個涂膠過程,穩(wěn)定。 
SC-100智能勻膠機

主要技術(shù)指標
 系統(tǒng)支持10個工藝組存儲,每個工藝組可設置4段運行速度及運行時間 
  勻膠速度:  0~8000rmp可調(diào) 
  勻膠時間:  1~9999s任意時間可設置 
  旋轉(zhuǎn)加速度:0~12000rpm/sec   由低速到高速加速時間0.1s~0.5s 
  轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1rmp 
  涂膠均勻性:±3% 
  可鍍膜尺寸:Ф5~Ф150mm(6〞) 
  基片厚度:  ≤5mm 
SC-100智能勻膠機

其 它 配 置設備配置Ф260mm接膠裝置(不銹鋼材質(zhì)) 
電機額定功率90W,額定轉(zhuǎn)速8000rmp 
真空系統(tǒng):FY-1C真空泵一臺,抽氣速率60L/min(標配) 
  AP-500V無油真空泵,抽氣速率100L/min(選配) 
樣片托:隨機配1英寸一個,2英寸一個,其它規(guī)格尺寸按要求定做。 
輸入電源: AC220V/240V  50HZ 
機身尺寸: 280×360×240mm 
機身重量:10Kg

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